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泊苏系统集成申请光刻机专用防微震基座专利,形成宽频减震特性:系统集成
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金融界2025年8月8日消息,国家知识产权局信息显示,江苏泊苏系统集成有限公司申请一项名为“一种光刻机专用防微震基座”的专利,公开号CN120447314A,申请日期为2025年06月系统集成。专
2025-10-27
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